Ko te whakakorikori matū-miihini (CMP) he maha tonu te whai waahi ki te whakaputa i nga papa maeneene ma te tauhohenga matū, ina koa nga mahi i roto i te umanga whakangao semiconductor.Inemita, he kaiwhakaahua pono kua neke atu i te 20 tau te tohungatanga ki te ine ine kukū rōraina, e tuku ana i te tino toimita kiato karihi koreme nga pūoko pokey ki te whakatika i nga wero o te whakahaere slurry.
Te Hiranga o te Kounga Slurry me te Tohungatanga o Lonnmeter
Ko te slurry miihini matū te tuara o te tukanga CMP, e whakatau ana i te riterite me te kounga o nga papa. Ko te kiato slurry maiorooro, pokey ranei ka arahi ki nga koha penei i te pakaru moroiti, te tango i nga rawa pahekoheko, te kati papa ranei, te whakararu i te kounga angiangi me te piki haere o nga utu whakaputa. Ko Lonnmeter, he kaihautu o te ao mo nga otinga inenga ahumahi, he tohunga ki te inenga slurry rōraina kia pai ai te mahi slurry. Na te rekoata pono mo te tuku i nga pukoro pono, tino tika, kua mahi tahi a Lonnmeter me nga kaihanga miihini hikoi ki te whakarei ake i te mana whakahaere me te whai hua. Ko o raatau mita kiato kore-karihi me nga pūoko pokey e whakarato ana i nga raraunga tuuturu, e taea ai nga whakarereketanga tika ki te pupuri i te riterite me te whakatutuki i nga hiahia o te hanga semiconductor hou.
Neke atu i te rua tekau tau o te wheako ki te inenga kukū rōraina, e whakawhirinakihia ana e nga umanga semiconductor o runga. Ko nga pukoro a Lonnmeter kua hangaia mo te whakauru korekore me te kore tiaki, te whakaiti i nga utu whakahaere. Ko nga otinga kua whakaritea hei whakatutuki i nga hiahia o te tukanga, me te whakarite i nga hua angiangi teitei me te hanganga ture.
Te Mahi a te Maama Miihini Whakaoho i roto i te Hanga Semiconductor
Ko te whakakorikori matū (CMP), e kiia ana ko te mahere matū-miihini, he kohatu kokonga o te hanga semiconductor, e taea ai te hanga papa papatahi, kore kohakore mo te hanga maramara matatau. Ma te whakakotahi i te tarai matū me te abrasion miihini, ka whakarite te tukanga CMP i te tika e hiahiatia ana mo nga iahiko whakauru maha-paparanga i nga pona kei raro i te 10nm. Ko te slurry miihini matū, he wai, he reagents matū, me nga matūriki abrasive, ka pahekoheko ki te papa whakakorikori me te angiangi hei tango i nga rawa kia rite. I te wa e tipu haere ana nga hoahoa semiconductor, ka piki ake te uaua o te tukanga CMP, me kaha te whakahaere i nga taonga slurry hei aukati i nga koha me te whakatutuki i nga angiangi maeneene me te orohia e hiahiatia ana e Semiconductor Foundries me nga Kaituku Rawa.
He mea nui te tukanga mo te hanga maramara 5nm me te 3nm me te iti o nga hapa, e whakarite ana i nga papa papatahi kia tika te whakatakoto o nga paparanga o muri mai. Ahakoa te iti o te riterite o te slurry ka arahi ki te mahi utu nui, ki te ngaronga hua ranei.
Nga Wero ki te Aroturuki i nga Ahuatanga Slurry
Ko te pupuri i te kiato slurry rite me te pokey i roto i te tukanga oro mihini matū he kiki i nga wero. He rereke nga ahuatanga o te parapara na runga i nga mea penei i te kawe waka, te waimeha ki te wai, te hauwai hauwai ranei, te koretake o te whakaranu, te paheketanga matū ranei. Hei tauira, ko te noho matūriki i roto i nga tote slurry ka nui ake te kiato o raro, ka kore e rite te whakakorikori. Ko nga tikanga aro turuki tawhito penei i te pH, te pumanawa whakaiti-waiora (ORP), te kawe ranei i te nuinga o nga wa karekau i te tika, na te mea karekau e kite i nga huringa ngawari o te hanganga slurry. Ko enei here ka puta he hapa, he whakaheke i nga reiti tangohanga, me te pikinga o nga utu pau, he nui te tupono mo nga kaihanga taputapu semiconductor me nga kaiwhakarato ratonga CMP. Ko nga huringa tito i te wa e whakahaere ana me te tohatoha ka pa ki te mahi. Ko nga waahanga iti-10nm e hiahia ana kia kaha ake te mana whakahaere mo te maatanga o te slurry me te whakakotahitanga tika. He iti noa te rereketanga o te pH me te ORP, engari he rereke te kawe me te koroheketanga o te slurry. Ka piki ake te reiti koha ki runga ki te 20%, mo ia rangahau ahumahi.
Pūoko Roraina a Lonnmeter mo te Aroturuki Wā-tūturu
Ka whakatika a Lonnmeter i enei wero me ana mita kiato kore-karihi karihi me tepūoko pokey, tae atu ki te mita viscosity i roto i te raina mo te ine i roto i te raina me te mita kiato ultrasonic mo te slurry kiato me te aro turuki. Ko enei puoro i hangaia mo te whakauru korekore ki nga tukanga CMP, e whakaatu ana i nga hononga-ahumahi. Ko nga otinga a Lonnmeter he pono mo te wa roa me te iti o te tiaki mo tana hanganga pakari. Ko nga raraunga tuuturu ka taea e nga kaiwhakahaere ki te whakatikatika i nga whakaranu parapara, te aukati i nga koha, me te arotau i nga mahi whakakorikori, na te mea he mea nui enei taputapu mo nga Kaituku Taputapu Taatari me te Whakamatau me nga Kaituku Whakapau CMP.
Nga Painga o te Aroturuki Tonu mo te Arotautanga CMP
Ko te aro turuki tonu me nga pukoro-a-roto a Lonnmeter ka huri i te mahi whakakorikori miihini matū ma te tuku tirohanga ka taea te mahi me te penapena utu nui. Ko te inenga kiato slurry me te aro turuki i te viscosity ka whakaiti i nga hapa penei i te rakuraku, te whakakorikori ranei ki te 20%, e ai ki nga tohu a te umanga. Ko te whakaurunga ki te punaha PLC ka taea te whakangao aunoa me te mana whakahaere, me te whakarite kia noho nga taonga slurry ki roto i nga awhe tino pai. Ma tenei ka 15-25% te whakahekenga o nga utu ka pau, ka whakaitihia te wa heke, ka pai ake te rite o te wafer. Mo te Semiconductor Foundries me nga Kaituku Ratonga CMP, ko enei painga ka whakamaoritia ki te whakapai ake i te hua, teitei ake nga tawhwhanga hua, me te whai ki nga paerewa penei i te ISO 6976.
Nga Uiuitanga Mo Nga Aroturuki Putea i CMP
He aha te inenga kiato slurry he mea nui mo CMP?
Ko te inenga kiato o te puwha ka whakarite kia rite te tohatoha matūriki me te whakakotahitanga riterite, te aukati i nga koha me te arotau i nga reiti tangohanga i roto i te mahinga miihini matū. Ka tautokohia te hanga angiangi-kounga teitei me te ū ki nga paerewa ahumahi.
He pehea te kaha o te aro turuki ki te CMP?
Ko te aro turuki i te whakapouri ka mau tonu te rere o te slurry, hei aukati i nga take penei i te kapoi o te papa, te whakakorikori koretake ranei. Ko nga pukoro-a-roto a Lonnmeter e whakarato ana i nga raraunga tuuturu hei arotau i te tukanga CMP me te whakapai ake i nga hua angiangi.
He aha te ahurei o nga mita kiato kore-karihi a Lonnmeter?
Ko nga mita slurry slurry kore-karihi a Lonnmeter e tuku ana i nga inenga kiato me te ine pokey me te tino tika me te kore tiaki. Ko ta raatau hoahoa pakari ka whakarite i te pono ki te tono i nga taiao tukanga CMP.
He mea nui te inenga kiato slurry me te aro turuki i te viscosity mo te arotau i nga mahi whakakoi miihini matū i roto i nga mahi hangahanga. Ko nga mita slurry slurry kore-karihi a Lonnmeter me nga pūoko pokey e whakarato ana i nga Kaihanga Taputapu Semiconductor, CMP Consumables Suppliers, me Semiconductor Foundries me nga taputapu ki te hinga i nga wero whakahaere slurry, whakaiti i nga hapa, me te whakaheke i nga utu. Ma te tuku i nga raraunga tika, wa-tuituru, ko enei otinga ka whakarei ake i te pai o te tukanga, te whakarite i te hanganga ture, me te whai hua ki te maakete CMP whakataetae. Haerengapae tukutuku Lonnmeterwhakapā atu ranei ki ta raatau roopu i tenei ra ki te mohio me pehea e taea ai e Lonnmeter te whakarereke i o mahi miihini miihini matū.
Wā tuku: Hūrae-22-2025
